性能参数:适用晶元尺寸范围:≤3 英寸;旋涂速度:100~10000rpm;转速分辨率:1rpm;旋涂加速度:100-10000rpm/s;最大旋涂时间:1000s;旋涂时间精度:0.1s;匀胶机均匀性:≤±3%内腔直径 150mm,内腔采用独特的凹面防溅设计;具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程 10 组程序,每组程序 5 步;电源输入:AC200-230产品外型尺寸:290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H)