桌上型旋转涂布机MSC-150T-B

规格：8寸涂布机+标准载物盘（x3）+真空泵

型号：MSC-150T-B

用途：本设备用于硅片等的表面涂布工艺生产，将基材涂上一层特定的光刻胶、感光涂料或油墨，取出后在进行后道烘干工艺。特点： 1.7寸触屏+进口电机操作方便，质量更稳定； 1. 整机用料更扎实、机身重量更重、电机功率更大、有效保障运行过程中平稳几乎无震动； 2. 吸盘平整度精细加工平磨，均匀性更好，可达1%以内； 3. 电气元器件独立集成在机身侧面空间，有效避免因腔体漏液渗到设备内部导致短路风险； 4. 配置光胶过滤器和废液桶，清洗保养更方便，及时清理避免堵胶带来飞片风险； 5. 有真空负压数值显示和低真空报警装置，有效提醒因负压不足带来飞片风险； 6. 提供工艺支持，避免客户购买不适宜产品带来损失风险。

基板承盘

内腔尺寸: 直径 280mm

基本规格

设备尺寸：宽 500mm*深 500mm*高 320mm

外观:本体为镜面不锈钢板,腔体材质：POM

排放管路系统置于机台背部

机台支脚具高低调整功能

电控系统

软件: PLC 可程序自动化控制器

操作接口: Color 5.7＂Touch Screen PLC 接口整合 HMI

制程/维修/警示/编辑/配方，皆可从操作屏幕上修改

可依客户需求条件撰写编辑，并可结合自动存取

储存能力

记忆模块 50 组配方设定

段数设定:每一配方模块均设 20 段数，每一段数均可设定加速度及时间控制

密码设定:可依权限设定密码保护

旋转时间设定：1 –3000 sec (PLC 上设定及显示)

应用程序

人工放置基板->启动真空吸附->基板吸附于转盘上 ->旋转开启->低转速->中转速->高转速->旋转停止->破真空->人工取件。

机构模块注意事项

＊组装马达的机台避免发生共振，须将马达固定于高刚性的机台上。

＊考虑点:负载惯性力矩、轴向负重‧径向负重‧力矩负重、停止过程中必须保持扭力的大小。