产品特点
硬质阳极氧化铝耐腐蚀加热面板
7寸全彩触摸屏，高级PLC控制
时间内自动升降，可以定时取片。
可以任意设置顶针高度，实现无接触式烤胶
配有上盖，可以保温防尘。
镜面不锈钢外壳美观防尘
应用场景
MEMS行业
半导体工艺的薄膜处理
参数规格
加热面板尺寸：220*220mm
电源输入： 220V/1500W
控温范围：室温-300℃
温度分辨率： 0.1℃
温度均匀性： ±2%
程序： 可多段编程
针调节高度: 0--30mm
时间 ：1-9999S
多段控温 ：可达12段
操作系统： 7寸触屏+PLC
电源输入： AC200V ~ 240V ，单相（220V 型号）
有效处理面积： ≤8寸晶圆
外观尺寸： 302*443*292mm
